微機電系統工程專業是以機、電技術，尤其是微機械為基礎的，綜合多種學科領域技術的新型交叉學科。主要培養從事微機電系統工程方面的設計制造，生產運行？科技開發和技術經濟管理方面的人才。

全國共有2所開設微機電系統工程專業的大學參與了2015微機電系統工程專業大學排名，其中排名第一的是西北工業大學，排名第二的是北京航空航天大學，以下是微機電系統工程專業大學排名2015具體榜單，供大家參考：